华体会体育中国电子工程设计院申请一种稳定输出半导体工艺用超纯水的调控方法和装置专利能够根据下游半导体工艺用水需求高效低能耗地输出质量和流量稳定的超纯水金融界2025年1月17日消息,国家知识产权局信息显示,中国电子工程设计院股份有限公司申请一项名为“一种稳定输出半导体工艺用超纯水的调控方法和装置”的专利,公开号CN 119306359 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,一种稳定输出半导体工艺用超纯水的调控方法和装置,所述调控方法包括:S1 深处理:对一次纯水处理得到二次纯水;S2一阶循环:将部分二次纯水回流循环进行步骤S1,未回流二次纯水存入纯水储槽,根据纯水储槽液位的模拟输出结果,按比例分配回流水量,形成一阶循环比率,根据一阶循环比率和二次纯水的检测结果,调控一阶分解处理的目标分解剂量;S3精处理:对二次纯水处理得到超纯水;S4二阶循环:根据下游半导体工艺用水量稳定输出超纯水,将剩余超纯水回流进行步骤S3,同时根据工艺用超纯水量和超纯水的检测结果,调控二阶分解处理的目标分解剂量。本发明能够根据下游半导体工艺用水需求,高效低能耗的输出质量和流量稳定的超纯水。
天眼查资料显示,中国电子工程设计院股份有限公司,成立于1992年,位于北京市,是一家以从事新闻和出版业为主的企业华体会体育(中国)hth·官方网站华体会体育(中国)hth·官方网站。企业注册资本92427.4508万人民币华体会体育(中国)hth·官方网站,实缴资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析,中国电子工程设计院股份有限公司共对外投资了37家企业,参与招投标项目5000次,知识产权方面有商标信息31条,专利信息389条,此外企业还拥有行政许可41个。
Copyright © 2012-2024 华体会体育(中国)hth·官方网站 版权所有粤ICP备19157883号-1 Xml网站地图